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Particle Sensor內置真空泵
不需外接真空泵，只需提供Particle Sensor電源，即可工作 ，節約成本，無需佈管路
適合設備内安裝，安裝簡易，多種通訊方式，可整合至原有系統
不同粒徑大小選擇，0.1 , 0.3μm, 0.5μm, 滿足不同等級無塵室測試要求
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